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Das Vakuum
Grundsätzlich gilt als Vakuum der Zustand eines Gases, dessen Teilchenanzahldichte geringer ist als die der Atmosphäre an der Erdoberfläche.

In der Vakuumtechnik wird das Millibar (mbar) als Einheit verwendet. Diese Einheit leitet sich aus der gesetzlichen Druckeinheit Pascal (Pa) ab.

1 Pa = 1N.m-2,   1bar = 1000 mbar = 105 Pa = 105 N.m-2 = 0,1 MPa

Die früher üblichen Druckeinheiten, wie Torr, Kp/cm2, at, atm, mWS, mmHg dürfen nicht mehr verwendet werden!
Einheit Grobvakuum Feinvakuum Hochvakuum Ultrahochvakuum
mbar 10 3 bis 1 1 bis 10-3 10-3 bis 10-7 < 10-7

 

Vakuumpumpen Eigenschaften
Membranpumpe: bei der mittels mechanisch bewegter Membran die Gasansaugung und Verdrängung erzeugt wird. Membranpumpen werden als Vorpumpen eingesetzt.
Drehschieberpumpen: bei Ihr sind im Rotor bewegliche Schieber angeordnet, die durch die an ihnen angreifende Zentrifugalkraft die Gehäusewand entlang gleiten. Sie werden zur Erzeugung von Grob- und Feinvakuum eingesetzt.
Turbomolekularpumpen: wirken durch Gasstöße mit einer schnell bewegten Wand, die die Gase gerichtet mitreißt und dadurch einen Druckunterschied erzeugt. Der mechanische Aufbau ist so, dass Staturscheiben und Rotorscheiben, die jeweils spiegelbildlich liegende, schräg gependelte Kanäle enthalten, in einen Gehäuse abwechselnd angeordnet sind. Sie arbeiten im  Hoch- und Ultrahochvakuumbereich.
Öl-Diffusionspumpen:: arbeiten mit einen Treibmittel Öl, in das die Gasmoleküle hinein- diffundieren und elastische Zusammenstöße erleiden. Dadurch wird ihrer thermischen Diffusionsbewegung eine Geschwindigkeitskomponente in Strömungsrichtung des Treibmittels überlagert, ein Druckunterschied erzeugt und eine Saugwirkung erzielt. Sie arbeiten im Hochvakuum.
Kryopumpen: wirken durch das Kondensieren von Gasen an sehr tief gekühlten Oberflächen. Die Temperatur liegt mit 10K bis 20K in einen Bereich, wo außer Neon, Wasserstoff und Helium alle Gase ausgefroren werden. Sie arbeiten als Vorpumpen bis 10-2 mbar

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